공지사항
FE-SEM-2 및 EDS spec. 안내날짜 : 2024.10.29 조회수 : 527 |
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 FE-SEM-2 규격 및 사양1) 해상도 a. 15kV: 1.0nm 이하 b. 1kV: 1.6nm 이하. 2) 가속 전압 a. 범위: 0.02kV ~ 30kV를 포함하면서 더 넓은 범위 b. 조정: 10 Volt 단계로 연속적으로 조정 가능 3) Probe Current a. 범위: 3pA ~ 20nA를 포함하면서 더 넓은 범위 b. 안정성: 시간 당 0.2% 안정성 4) 배율 a. 범위: 10 ~ 1,000,000배를 포함하면서 더 넓은 범위 b. 조정: 연속적으로 조정 가능 c. 작동 범위 또는 가속 전압의 변화에 맞춰 자동 보정(Auto-Compensation) EDS 규격 및 사양1) Silocon Drift Detector : LN2 free type with motorized slide 2) Sensor Size : 40mm2 3) Detector Window : Ultra thin polymer window 4) Detection range : Be(4) up to Cf(98) or wider 5) Resolution : 127 eV or less at Mn Ka@130,000cps 6) Model : Oxford UltimMax 40 |
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