중앙대학교 공동기기센터

전계방사형 주사전자현미경-2

서울

기기명 (영문)	FE-SEM-2
기기명 (한글)	전계방사형 주사전자현미경-2
모델명	SIGMA 300
제조회사	Carl Zeiss
도입시기	2021년
담당	이소현 / 02-820-6353
장비위치	수림과학관 202호
예약 취소	D-2 까지 무과금 취소(22년 1월 1일부터 변경)
야간 출입	예약자 1인만 출입 가능(8월 16일부터) 공지사항 참고
예약가능여부	예약가능

기기 예약하기

※ 분석 진행 중일 경우 유선연락이 어렵습니다. 가급적 문의사항은 이소현(lshyun127@cau.ac.kr)로 문의 바랍니다.

용도 및 원리

전계방사형 주사전자현미경은 일반 주사전자현미경과 달리 전자총이 열전자총이 아닌 Field Emission Gun을 사용함으로 해서 해상력이 뛰어나기 때문에 깨끗한 영상을 얻을 수 있다. 따라서 일반전자현미경에서 구현하기 힘든 저가속전압에서 고배율 관찰이 가능하고, 저전압으로 관찰이 가능하기 때문에 시료의 radiation damage가 적은 것이 장점이다.

규격 및 사양

1) 해상도

a. 15kV: 1.0nm 이하

b. 1kV: 1.6nm 이하.

2) 가속 전압

a. 범위: 0.02kV ~ 30kV를 포함하면서 더 넓은 범위

b. 조정: 10 Volt 단계로 연속적으로 조정 가능

3) Probe Current

a. 범위: 3pA ~ 20nA를 포함하면서 더 넓은 범위

b. 안정성: 시간 당 0.2% 안정성

4) 배율

a. 범위: 10 ~ 1,000,000배를 포함하면서 더 넓은 범위

b. 조정: 연속적으로 조정 가능

c. 작동 범위 또는 가속 전압의 변화에 맞춰 자동 보정(Auto-Compensation)

예약자와 실제 사용자가 다를경우 장비 사용을 제한합니다.(야간 직접 사용시 예약자 1인만 출입 가능)

관리자에게 기기 사용 교육을 이수한 이용자만 직접 사용 가능합니다.

야간사용 자격획득 후 6개월간 이용실적이 없으면 야간사용 자격을 제한합니다.

EDS가 없는 장비이므로, EDS를 사용해야 할 경우 기존 장비(FE-SEM)를 사용하기 바랍니다.

기기예약

전계방사형 주사전자현미경-2