1. XPS 분석프로그램인 AVANTAGE

  - 연구실에 Fitting 프로그램이 없는 경우, 간단한 프로그램 사용법을 교육받은 후 학생들이 직접 사용하실 수 있도록 XPS에 설치되어 있습니다. 사용시간 : 오전 9시 - 오후 6시 (점심시간 제외, 방학 10-4시)



2. XPS 예약방법 및 일정

  - XPS는 의뢰 분석만 가능합니다. 시료를 센터로 가져오실 시간에 예약 후 시간맞춰 가져오시면 됩니다.

  시료를 맡기시고 가시면 2-3일내로(주말, 공휴일 제외) 데이터를 받아보실 수 있습니다. 

  택배로 샘플을 보내시는 경우, 보내신날 +2일로 예약해주세요. 

  (예시) 월요일 택배 발송 -> 수요일 오전시간으로 예약



3. 예약시 주의사항

  - 홈페이지 예약시 기타입력란에 보고자하는 원소의 종류를 반드시 써주세요.

   그 외의 주의사항, 시료의 특성, 데이터 받으실 이메일주소 등 자세하게 써주시기 바랍니다. 



4. 시료준비

 - 초고진공에 적합하게 완전히 건조된 상태여야 합니다. 가루가 날리거나 진공이 잡히지 않는 시료는 측정 불가합니다. 진공이 잡히지 않아서 다른 시료 측정 일정에 피해를 주는 경우 패널티 요금 50%부과됨.

  1) 파우더 시료 : 작은 바이알 또는 ep tube에 100mg(0.1g)정도 완전히 드라이된 상태로 준비 

  2) 박막 시료 : 5 mm X 5 mm ~ 10 mm X 10 mm, height < 15 mm  사이즈로 준비.

                    사이즈가 큰 시료의 경우 임의로 자르거나 측정이 거부될 수 있습니다. 

                    앞뒷면이 다른 경우 시료를 부착해서 고정시켜서 보내주셔야 합니다.

  3) 시료를 반드시 1,2,3,4 순서대로 넘버링해서 보내주시기 바랍니다. 실험자만 알 수 있는 시료명이나 임의의 숫자로 보내지 마시고 넘버링 꼭 다시 해주시기 바랍니다.

  4) 시료를 카본테이프에 부착하여 측정하기 때문에 온전하게 시료가 회수가 안될수도 있습니다. 



5. 분석 절차

  1) 처음 의뢰하시는 경우 : 담당자와 통화 후 시료 측정 가능 여부 및 일정 확인 → 홈페이지 예약하기 →  시료 도착 → 예약 승인 → 시료 도착 순서대로 실험 진행 → 데이터 발송 → 실험완료 → 결제

  2) 재의뢰의 경우 : 예약이 열려있는 날짜에 홈페이지 예약 -> 시료 도착 → 예약 승인 → 시료 도착 순서대로 실험 진행 → 데이터 발송 → 실험완료 → 결제



6. 담당자 이메일 : ckee22@cau.ac.kr(교육 및 기타 문의)



7. 시료 보내실 주소 : 서울시 흑석로 84 중앙대학교 수림과학관(104관) 205호 공동기기센터, 한철경(02-820-6173)



8. 처음찍으시는 분들을 위한 XPS 참고 동영상 

  1) XPS란 : https://youtu.be/Pd4ZmnTrj_I

  2) XPS 데이터 그래프 해석방법 : https://youtu.be/ij6bVhQiN9g

 

X-선 광전자 분광법은 광원으로 X-선을 사용하여 내부 전자로부터 광전자(Photoelecton)를 방출시켜 광전자의 운동에너지를 측정함으로써 원소의 화학적 이동(chemical shift)의 차이를 이용하여 표면의 구성 원소의 화학 결합 상태를 알아낼 수 있는 분석 장비임



1. 응용분야

- 시료 표면의 정성, 정량 분석

- 반도체 표상 및 성분 분석

- 금속재료 표면 산화상태, 부식 상태 등 구조 해석

- 고분자 복합 재료 연구 등



2. 분석 내용

 1) Surface : 시료 표면으로부터 10 nm 이내의 정성, 정량 분석하는 실험

 2) Depth Profile : 시료 표면 측정과 Ar sputtering을 반복하여 시료 표면부터 깊이, 분포를 분석하는 실험

 3) AR-XPS : 각도를 바꿔가며 일반적으로 5 nm 이하의 초박막 시료의 상대적인 조성 및 분포를 얻을 수 있는 실험(비파괴 두께측정) 



3. 시료 준비

 - 파우더, 박막, 필름 등 시료는 반드시 초고진공에 적합하게 완전히 건조된 상태여야 함.

 - 가루가 날리거나 진공이 잡히지 않는 시료는 측정 불가

 - 용매에 있던 시료는 반드시 진공오븐에서 건조 후 측정 의뢰

 - 시료사이즈 : 5 mm X 5 mm ~ 10 mm X 10 mm, height < 15 mm

※ 10% 부가가치세 별도

※ 진공이 잡히지 않아서 다른 시료 측정의 피해를 주는 경우 패널티로 요금 50% 부과

  시료를 측정했으나 시료 문제로 데이터가 나오지 않는 경우 측정을 했으므로 요금의 50%를 과금합니다.