※ 분석 진행 중일 경우 유선연락이 어렵습니다. 가급적 문의사항은 이소현(lshyun127@cau.ac.kr)로 문의 바랍니다.
용도 및 원리
전계방사형 주사전자현미경은 일반 주사전자현미경과 달리 전자총이 열전자총이 아닌 Field Emission Gun을 사용함으로 해서 해상력이 뛰어나기 때문에 깨끗한 영상을 얻을 수 있다. 따라서 일반전자현미경에서 구현하기 힘든 저가속전압에서 고배율 관찰이 가능하고, 저전압으로 관찰이 가능하기 때문에 시료의 radiation damage가 적은 것이 장점이다.
규격 및 사양
- Resolution : 1.3nm at 20kv. 2.8nm at 1kv
- Magnification : 12x to 1,000,000x
- Acceleration Voltage Range: 0.1kV to 30kV
- Filament : Schottky Field Emitter
- Detectors : SE, BSE, In-lens Detector
- Specimen Stage : X axis - 125 mm, Y axis - 125 mm, Z axis - 50 mm total (sample height max.= 5 mm ), Tilt - 0 to 90 motorised
* EDS : Thermo NORAN System 7
- Super UTW Si(Li)10mm2, 129eV at Mn Ka
- Detectable element : Be(4) to U(92)
예약자와 실제 사용자가 다를경우 장비 사용을 제한합니다.(야간 직접 사용시 예약자 1인만 출입 가능)