중앙대학교 공동기기센터

전계방사형 주사전자현미경

서울

기기명 (영문)	FE-SEM
기기명 (한글)	전계방사형 주사전자현미경
모델명	SIGMA
제조회사	Carl Zeiss
도입시기	2010년
담당	이소현 / 02-820-6353
장비위치	수림과학관 207호
EDS	EDS 사용 가능
분석의뢰	오전9시~10시 분석의뢰 불가 (12월26일~2월5일)
예약 취소	D-2 까지 무과금 취소(22년 1월 1일부터 변경)
예약가능여부	예약가능 2023.02.06 ~ 2023.02.06 예약불가 ( 정전 후 점검 )

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※ 분석 진행 중일 경우 유선연락이 어렵습니다. 가급적 문의사항은 이소현(lshyun127@cau.ac.kr)로 문의 바랍니다.

용도 및 원리

전계방사형 주사전자현미경은 일반 주사전자현미경과 달리 전자총이 열전자총이 아닌 Field Emission Gun을 사용함으로 해서 해상력이 뛰어나기 때문에 깨끗한 영상을 얻을 수 있다. 따라서 일반전자현미경에서 구현하기 힘든 저가속전압에서 고배율 관찰이 가능하고, 저전압으로 관찰이 가능하기 때문에 시료의 radiation damage가 적은 것이 장점이다.

규격 및 사양

- Resolution : 1.3nm at 20kv. 2.8nm at 1kv

- Magnification : 12x to 1,000,000x

- Acceleration Voltage Range: 0.1kV to 30kV

- Filament : Schottky Field Emitter

- Detectors : SE, BSE, In-lens Detector

- Specimen Stage : X axis - 125 mm, Y axis - 125 mm, Z axis - 50 mm total (sample height max.= 5 mm ), Tilt - 0 to 90 motorised

* EDS : Thermo NORAN System 7

- Super UTW Si(Li)10mm2, 129eV at Mn Ka

- Detectable element : Be(4) to U(92)

예약자와 실제 사용자가 다를경우 장비 사용을 제한합니다.(야간 직접 사용시 예약자 1인만 출입 가능)

관리자에게 기기 사용 교육을 이수한 이용자만 직접 사용 가능합니다.

야간사용 자격획득 후 6개월간 이용실적이 없으면 야간사용 자격을 제한합니다.

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전계방사형 주사전자현미경