기기예약

전계방사형 주사전자현미경

서울
기기명 (영문) FE-SEM
기기명 (한글) 전계방사형 주사전자현미경
모델명 SIGMA
제조회사 Carl Zeiss
도입시기 2010년
담당 이윤희 / 02-820-6353
장비위치 수림과학관 207호
EDS EDS 사용 가능
예약자 확인 실제 사용자와 예약자가 상이 할시 추후 사용불가
예약가능여부
  • 예약가능
기기 예약하기
※ 분석 진행 중일 경우 유선연락이 어렵습니다. 문의사항은 가급적 메일(yuni@cau.ac.kr)로 연락 바랍니다.



샘플 도입 방식(Airlock 설치)이 변경되어 Airlock 사용자 교육이 필요합니다.                                                                                                                                                                                                                      Airlock 또는 FE-SEM-2 교육을 받지 않은 이용자는 장비 예약 후 교육 신청 바랍니다.                                                                                                                                                                                                       (If you have not received FE-SEM-2 equipment training(How to use Airlcok), you can use it after you have received Airlock training)



신규 장비(FE-SEM-2)는 기존 장비(FE-SEM)을 2회 이상 또는 5시간 이상 사용후 이용 가능합니다.

※ 직접사용

   1) 기존 직접 사용자

     (1) FE-SEM-2(Airlock 사용 방법) 교육 수강한 경우: 바로 예약하여 사용 가능

     (2) FE-SEM-2(Airlock 사용 방법) 교육 수강하지 않은 경우: Airlock 사용 방법 교육 신청(하단 교육 신청 방법 참고)

    2)신규 직접 사용 희망자: 직접 사용 교육 신청(하단 교육 신청 방법 참고)


   

※ 야간사용

   1) 기존 야간 사용자

     (1) FE-SEM-2 야간 이용자: 바로 야간 이용 가능

     (2) FE-SEM 또는 FE-SEM-2 주간 3회 이상 사용 후 야간 이용 신청 


   2) 신규 야간 사용 희망자:
주간 10회 또는 20시간 이상 장비를 직접사용한 이용실적이 있는 교내 이용자에 한해 장비사용능력을 심사 후 자격을 부여합니다. (서식자료실의 공동활용장비 직접사용신청서 제출)



※ 분석의뢰 - 사전에 일정을 협의한 후 예약하시기 바랍니다.





※ 백금막코팅기, EDS 사용 시 반드시 옵션 추가 후 예약 바랍니다.

실제 사용자와 예약자가 다를 경우 문제가 발생하여도 확인이 어려우므로 본인 아이디로 예약하고 사용하기 바랍니다.

예약 당일 취소는 불가능합니다. 예약 취소는 예약일자의 하루 전 오후 12시까지 로그인-MYPAGE-이용신청현황 페이지에서 예약자 본인이 직접 취소하시면 됩니다. 





※ 직접 사용 교육 신청 방법 ※

   장비 예약 후 아래 내용을 작성하여 메일로 연락바랍니다. (yuni@cau.ac.kr) 

  - 교육 가능한 시간 : 10:00 ~ 18:00 (월, 수, 목, 금)

  - 작성 내용 : 학과 / 교수님 / 이름(공동기기센터아이디) / 연락처 / 예약 시간

    (교육 인원이 여러명일 경우, 이름(아이디) 정보 모두 기입 바랍니다.)  
 

  - 교육시간:

    1)-(2) Airlock 사용 방법 교육: 30분 소요(인원이 추가될 때마다 10분씩 추가됨)

    (2) 장비 직접 사용 교육: 1시간 (EDS 교육 시 1시간 추가, 총 2시간 소요)


  ※ 교육 시 평소 측정할 샘플 1~2개 정도 지참하여 주세요.

  ※ FE-SEM/FE-SEM-2 교육·의뢰 일정이 겹칠 경우 부득이하게 교육예약이 취소될 수 있습니다.






※ 야간 사용 도중 문제가 발생하였을 경우 ※

- 실험을 중단하고 예약시간 내에 아래 내용을 메일로 보내주세요. (yuni@cau.ac.kr)

  (이름 / 연락처 / 예약 시간 / 문제 내용 / 화면 캡처)

- 기기 고장으로 사용하지 못했을 경우 CCTV를 확인하고 예약을 취소해드립니다.

- 예약 시간 내에 문제 화면을 캡쳐하여 메일을 보내지 않는 경우, 확인이 어려우므로 사용한 것으로 간주하여 요금이 과금됩니다. 



 
[용도 및 원리]

전계방사형 주사전자현미경은 일반 주사전자현미경과 달리 전자총이 열전자총이 아닌 Field Emission Gun을 사용함으로 해서 해상력이 뛰어나기 때문에 깨끗한 영상을 얻을 수 있다. 따라서 일반전자현미경에서 구현하기 힘든 저가속전압에서 고배율 관찰이 가능하고, 저전압으로 관찰이 가능하기 때문에 시료의 radiation damage가 적은 것이 장점이다.


  [규격 및 사양]

- Resolution : 1.3nm at 20kv. 2.8nm at 1kv

- Magnification : 12x to 1,000,000x

- Acceleration Voltage Range: 0.1kV to 30kV

- Filament : Schottky Field Emitter

- Detectors : SE, BSE, In-lens Detector

- Specimen Stage : X axis - 125 mm, Y axis - 125 mm, Z axis - 50 mm total (sample height max.= 5 mm ), Tilt - 0 to 90 motorised



* EDS : Thermo NORAN System 7

- Super UTW Si(Li)10mm2, 129eV at Mn Ka

- Detectable element : Be(4) to U(92)
- 예약신청 후 사전 연락없이 3회 이상 장비를 사용하지 않을 경우 3개월간 사용을 제한합니다.

- 야간사용 자격획득 후 6개월간 이용실적이 없으면 야간사용 자격을 제한합니다.

- 예약자와 이용자가 다를경우 장비 사용을 제한합니다.

- 야간사용 시 이용신청자와 사용자가 다를 경우 야간사용 자격을 제한합니다.
[이용요금]

* FE-SEM

  - 교내대학 : 60,000원/시간 (직접이용시 50% 할인)

  - 교외대학 : 80,000원/시간 (직접이용시 50% 할인)

  - 외부업체 : 120,000원/시간



* 옵션

  - EDS : 20,000원/시간

  - 백금막코팅 : 10,000 원/회 




※ 10% 부가가치세 별도